洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现别的洁净室。例如,在洁净室中设水平单向流的“隧道”(一侧敞开),洁净室的其余部分是涡流的单向流流型,从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度。
但如果等级低于1000级,就会影响修复效果。洁净度100级(iso4):大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/l)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/l);大于等于5μm的尘粒数为0。洁净度1000级(iso5):大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/l)
工作台就设在“隧道内”。按受控粒子的性质划分(1)工业洁净室:受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。(2)生物洁净室:受控粒子为生物粒子的洁净室。实现洁净度要求的通风措施编辑洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施。
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