就洁净室,尤其是半导体工业洁净室而言,其负荷特点是:由于排风量大造成新风量大,故新风处理所需冷量消耗大;送风量大,输送动力消耗大,风机管道温升高;生产设备的---量大,消耗冷量大。这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。
这是理所当然的。因此,在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该---,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,手术室净化工程,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求。
因此,必须选用或亚过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。(2) 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型。
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