与室外之间均应保持一定的正压值。洁净室气流组织考虑原则编辑(1) 当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。(2) 减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。
其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的------。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施 :(1) 对洁净室的送风必须是有---洁净度的空气。
促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产mos电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
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