(3) 为了防止灰尘的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。(4) 工作区的气流应均匀,流速必须满足工艺和卫生的要求;洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,实验室净化工程设计,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,实验室净化工程价位,良率也势必降低。
但如果等级低于1000级,就会影响修复效果。洁净度100级(iso4):大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/l)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/l);大于等于5μm的尘粒数为0。洁净度1000级(iso5):大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/l)
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