促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产mos电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,莆田洁净工程,提高洁净室等级缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
但如果等级低于1000级,就会影响修复效果。洁净度100级(iso4):大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/l)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/l);大于等于5μm的尘粒数为0。洁净度1000级(iso5):大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/l)
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