控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更别单向流洁净区的面积。 [3] (2)在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起,把洁净度要求高的工序设置在上风侧,把产生粉灰、有毒、有害、、废气的工艺设备。
促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产mos电路管芯的合格率仅10%~15%,龙岩洁净工程,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
(2) 单向流洁净室:单向流洁净室气流的特征是流线平行,洁净工程,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。(3) 矢量洁净室:在房间的侧上角送风,采用扇形过滤器。
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