促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产mos电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
这是理所当然的。因此,在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该---,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求。
医院病房以及其他需要净化空气的实验室、计算机房等场所,它对于---室内的空气大为有益。清除不好的或不需要的杂质,使物品达到纯净的程度。净化工程所---设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度。
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