洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用hepa、ulpa过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,洁净工程,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
洁净室内的发尘量,来自设备的可考虑通过局部排风排除,洁净工程设备,不流入室内;产品,材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比,一般,可忽略;由于金属半壁(彩钢夹心板)的应用来自建筑表面的发尘也很少,一般占10%以下,发尘主要来自人。
使污染物在扩散之前便流向回风口。(5) 工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。(6) 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。
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