净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触---的洁净度及温湿度,净化工程设备,使产品能在一个---的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。乱流洁净室的主要特点是---流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多。
洁净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道(clean tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,净化工程---,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到---之洁净度,可节省能源
随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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