随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,净化工程设备,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
人体和衣服的摩擦,净化工程,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),由于电荷产生后不易流动,因此表现为越容易带电。静电问题所以在洁净室中------,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素
1.静电电引起的静电,引起人的不安全和恐惧感,并可造成二次伤害(例如人因受而摔倒,福州净化工程,由摔倒又致伤);2.静电放电引起的放电电流,可导致诸如半导体元件等破坏和误动作,例如将50块p- mos电路放在塑料袋内,净化工程装修,摇晃数次后,与非门栅极---击穿者计39块,失效率竞达78%,这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏
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