洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
对于要红灯照明的地方,净化工程装修,如电子行业的光刻车间,其照度一般为(25—501x),净化工程公司,用天然光时可允许更高的照度,因而对工作是有利的,所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,厦门净化工程,这也是为了节能而出现的一种动向。防静电洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生
冬季要加热加湿(因为冬季室外空气是寒冷干燥的,净化工程,室内湿度过低会产生静电,静电对电子产品的生产是致命的)。对于净化空调系统的加湿问题而言,常用的加湿方法有很多种,有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿,这些加湿方法属等焓加湿过程。
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