洁净室之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之---的洁净度日及温湿度,使产品能在一个---之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,无尘净化车间,而是控制在一个非常微量的单位上。
进入洁净区的空气,经过初效(又称粗效)、中效、三级过滤器过滤,使空气达到所要求的洁净级别。由于过滤器可以滤除<1μm(微米)的尘埃粒子,对---的穿透率为10-6,所以通过过滤器的空气,可视为无菌。
工作台就设在“隧道内”。按受控粒子的性质划分(1)工业洁净室:受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。(2)生物洁净室:受控粒子为生物粒子的洁净室。实现洁净度要求的通风措施编辑洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施。
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