控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更别单向流洁净区的面积。 [3] (2)在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起,把洁净度要求高的工序设置在上风侧,把产生粉灰、有毒、有害、、废气的工艺设备。
洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现别的洁净室。例如,在洁净室中设水平单向流的“隧道”(一侧敞开),洁净室的其余部分是涡流的单向流流型,从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度。
洁净室之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之---的洁净度日及温湿度,使产品能在一个---之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
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